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用于表面缺陷检测的aoi系统不能在检测过程中,给被测件表面带来缺陷(如粉尘、划伤、静电等)。因此,对于大型零件(如高世代的液晶玻璃基板、硅片等)的在线检测,常常需要采取气浮支撑、定位与传输机构,aoi自动光学检测机厂,运动部件(如轴承等)采用自润滑器件,以及利用ffu风机过滤机组对检测系统进行环境净化,并采取消静电装置,对工件进行防静电处理。

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